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    關于銅管退火爐的改進方法分析

    作者: 來源: 日期:2019/12/23 人氣:949
            退火爐可以集成到其他爐子處理步驟中,例如氧化,或者可以自己處理。退火爐是由專門為加熱半導體晶片而設計的設備完成的。退火爐是節能型周期式作業爐,超節能結構,采用纖維結構,節電60%。其實零部件對爐內氣氛的要求很高,一般要求殘氧量在10ppm以下露點在-40度以下。銅管退火爐爐內氣氛的好壞取決于爐子自身的氣密性。通常在熱處理爐裝置結束后,要對爐殼的氣密性做打壓實驗,以確保爐子的氣密性。但在今后的生產過程中,由于熱脹冷縮,爐體鋼結構振動、檢修拆裝設備、密封件損壞、設備損壞等要素會導致爐殼出現局部泄漏。假如這些漏點沒有被及時發現和有效封堵,就會導致熱處理爐氣密性變差,使爐內的殘氧量升高,而影響產品外表質量。


            熱處理銅管退火爐內氣氛的影響機理:
            銅管退火爐內的保護氣體由氮氣和氫氣依照恰當比例混合而成,起著還原零部件和避免氧化的效果,其主要參數指標有氫氣比例露點、殘氧量等殘氧量的影響
            1)能在低溫區富集,或許會在條件適合時與氫氣發作劇烈反響;
            2)對零部件外表構成選擇性氧化,構成色差等;
            3)對爐內耐火材料發生氧化危害,縮短資料的使用周期。
            改善銅管退火爐爐內氣氛的辦法
            1)建立退火爐氣密性查看準則
            2)確認氣密性查看的重點部位
            3)確認檢測時間、頻率、職責和確認人
            以上就是對于銅管退火爐爐內氣氛的改進方法分析,也是說到了他們的影響機理,希望能夠引起大家的注意。

    下一個:銅管退火爐爐溫均勻性的方法及工作原理
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